宽带隙功率半导体

作为半导体产业的重要发展趋势,汉民科技领先投入宽能带隙半导体(亦称化合物半导体或第三代半导体)的设备研发与生产,进行全方位布局已逾二十年,从IC设计、材料、生产设备、磊晶,到晶圆代工,已成为台湾供应链布局最完整的厂商:

碳化矽基板在台生產一條龍

碳化硅(SiC)是宽带隙功率半导体的明日之星,也被视为战略性物资,但基板材料的晶体成长技术难度极高,过往多掌握在美日厂商手中。汉民以多年时间研制SiC长晶炉设备,启动SiC基板制造业务,在台湾竹南广源设厂并投入量产,提供包括SiC长晶、定位加工、切割、研磨与基板制造等关键材料的完整产制服务。

關鍵設備研發與製造

汉民自主研发半导体设备,包含金属有机化学气相沉积设备(MOCVD)、ICP电浆蚀刻机(ICP Etcher)、匀胶涂布及显影机(Coater/Developer)以及电子束蒸镀设备(E-beam Evaporator)等,可因应化合物半导体制程等需求。

測試解決方案

汉民测试(HTSI)累积丰厚的技术能量,提供高阶探针卡(Probe Card)、自动光学检测与雷射清洁(Laser Cleaner)等客制化服务,为客户与通讯、能源、HPC与AI领域的应用产品,提供完善的支持服务。

汉民积极发展化合物半导体相关业务,二十年来一步一脚印,以前瞻布局,因应未来技术投产、支持产业发展、加速应用普及等各个面向的问题。从2023年开始,汉民新设的广源厂,已开始量产高质量的6”n-type SiC基板,可望运用在电动车及新能源等领域。而MOCVD已完成硬件验证,着手进行制程测试,并持续优化机台功能,为快速成长的各项化合物半导体相关产品量产需求积攒能量。

Hermes-Epitek
in Compound Semiconductor Field