寬能隙功率半導體

作為半導體產業的重要發展趨勢,漢民科技領先投入寬能隙半導體(亦稱化合物半導體或第三代半導體)的設備研發與生產,進行全方位佈局已逾二十年,從IC設計、材料、生產設備、磊晶,到晶圓代工,已成為台灣供應鏈佈局最完整的廠商:

關鍵材料技術

碳化矽(SiC)是寬能隙功率半導體的明日之星,也被視為戰略性物資,但基板材料的晶體成長技術難度極高,過往多掌握在美日廠商手中。漢民以多年時間研製SiC長晶爐設備,啟動SiC基板製造業務,在台灣竹南廣源設廠並投入量產,提供包括SiC長晶、定位加工、切割、研磨與基板製造等關鍵材料的完整產製服務。

製程設備研發與製造

漢民自主研發半導體設備,包含金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD)、ICP電漿蝕刻機(ICP Etcher)以及電子束蒸鍍設備(E-beam Evaporator)等,可因應化合物半導體製程等需求。

測試解決方案

漢民測試(HTSI)累積豐厚的技術能量,提供高階探針卡(Probe Card)、自動光學檢測(Automated Optical Inspection)等客製化服務,為客戶與通訊、能源、HPC與AI領域的應用產品,提供完善的支援服務。

漢民積極發展化合物半導體相關業務,二十年來一步一腳印,以前瞻佈局,因應未來技術投產、支持產業發展、加速應用普及等各個面向的問題。從2023年開始,漢民新設的廣源廠,已開始量產高品質的6”n-type SiC基板,可望運用在電動車及新能源等領域。而MOCVD已完成硬體驗證,著手進行製程測試,並持續優化機台功能,為快速成長的各項化合物半導體相關產品量產需求積蓄能量。

漢民科技
化合物半導體佈局