光罩製作 (Mask Manufacturing)

光罩製作 (Mask Manufacturing)
經由雷射/電子束描繪機將線路圖描繪在石英/玻璃基板上,此基板(光罩),會藉曝光機投影成像技術,將其線路圖成像到晶圓或玻璃基板上。

Product

Mycronic AB (瑞典)

  • Leading supplier of production solutions to the electronics industry
  • Pattern Generators: Display, Semiconductor, Touch Panels and Advanced Packaging
  • Surface Mount Technology Equipment: Placement, Jet Printing and Component Storage

Mycronic AB (瑞典)

  • Leading supplier of production solutions to the electronics industry
  • Pattern Generators: Display, Semiconductor, Touch Panels and Advanced Packaging
  • Surface Mount Technology Equipment: Placement, Jet Printing and Component Storage

光罩修補(Photo Mask Repair)
雷射氣相沉積(Laser CVD):
利用特殊雷射CVD成膜之技術,使用雷射將羰基金屬化合物-Cr(CO)6高溫分解(光解作用),使Cr附著於光罩上,進而將不良線路修補連接。

Product

Cowin DST CO, LTD. (韓國)

  • FPD: Light Leakage Repair System; Pad Pattern Repair System; Half Tone Photo Mask Repair System
  • PV: Laser Selective Emitter Doping & Real Metal Contact
  • TSP: Laser Direct Patterning System; Cover Glass Hole Drilling & Edge Polishing System

擴散及薄膜 / 離子植入(Diffusion & Thin Film / Ion Implantation)

擴散及薄膜(Diffusion & Thin Film)
用途廣泛,應用於擴散、趨入、氧化、薄膜沉積、退火、熱燒結
可分為常壓、低壓沉積、原子層薄膜沉積

離子植入(Ion Implantation)
晶片透過離子束植入離子,增加半導體導電性,形成 p 型或 n 型半導體
主要分為高電流、中電流和高能量等離子植入機

Product

Advanced Ion Beam Technology, Inc. (台灣)

  • Ion Implantation: Ion Implanter (A Hermes-Epitek subsidiary company)

Sumitomo (日本)

  • Ion Implantation: Ion Implanters and Plasma Doping

Sumitomo (日本)

  • Ion Implantation: Ion Implanters and Plasma Doping

濕式蝕刻與清潔 (Wet Etch & Clean)

濕蝕刻
利用藥液,將晶圓表面上的圖形,做選擇性地去除
可分為多反應槽式、單槽式、單晶圓式

清潔
要製作精密的矽晶圓產品,需要非常潔淨的表面,才能品質極佳化

黃光微影塗佈及顯影 (Photo Lithography)

光阻塗佈:去水烘烤、HMDS塗佈、光阻塗佈、軟烤
曝光:以曝光機搭配光罩使用
顯影:曝後烤、顯影、硬烤

乾式蝕刻 (Dry Etch)

利用氣體作為反應物,以低壓和高能的環境產生電漿,去除矽晶圓表面的薄膜,定義出圖形。
可分為物理性、化學性、活性離子。

化學機械研磨 (Chemical-Mechanical Planarization)

將晶片表面之突出部分,藉由機械拋光方式除去,也可選擇部分拋光。
拋光期間會添加研磨漿料及化學物質,增加拋光率與平坦度。

Product

EBARA corporation (日本)

  • CMP: Metal, Dielectric CMP
  • Plating: Metal plating 

東安開發股份有限公司

半導體耗材製造業。致力於提高產品品質,解決客戶問題,追求卓越服務,並已通過ISO9001及ISO14001認證。
主要生產PVA滾輪與清洗耗材,產品皆為自行開發並獲各國專利認證。
產品應用主要為半導體,硬碟及光電領域,並已通過業界領導廠商之品質認證,外銷歐、美、日、韓、新加坡……各國。

晶圓測試 (Wafer Testing)

  • 對晶圓做各項的測試,確定設計與製程的品質好壞,視為晶圓出廠前的最後一道防線。
  • 需要測試機、針測機及探針卡三者一體,才能進行完整測試流程。
Product

漢民測試系統股份有限公司

Hermes Testing Solutions, Inc. (HTSI)

提供全方位半導體測試解決方案

(懸臂式探針卡、垂直式探針卡、微機電式探針卡、薄膜式探針卡)

製程檢測/監控

製程檢測 (Process Metrology)
測量各製程機台的製程參數,如薄膜厚度、關鍵尺寸線寬、多層圖案對準、蝕刻深度、表面粗糙度及表面3D結構等。 

Product

Taiwan Electron Microscope Instrument Corporation (台灣)

微檢測系統與液態檢測模組

  • Customized Scanning Electron Microscope.
  • SEI/BEI + STEM analysis.
  • Energy dispersive X-ray spectrometer (EDS) for elemental analysis.
  • Special design for 6″、8″ & 12″ objects non-destructive analysis.

NvisANA (韓國)

晶圓表面不純物分析設備
Wafer Impurity Contamination Monitoring System

  • M-SPEC 金屬不純物分析
  • I-SPEC 離子不純物分析
  • O-SPEC 有機不純物分析
  • GIM/CIM 化學氣體/化學品不純物分析

為先進半導體製程發展,提供全進化的量測及檢測解決方案

全自動超高速 3D掃描探針顯微鏡,對於發展及監測以下先進製程特別有幫助:

  • CMP:Hybrid bonding,表面平整度及粗糙度
  • (High NA) 極紫光黃光製程:光阻量測及缺陷檢測
  • 高深寬比結構量測
  • 表面下對準及缺陷量測

氣體性分子污染物檢測 (Airborne Molecular Contamination Monitoring)
偵測與監控無塵室內環境之可能AMC污染源,包括汙染氣體、製程反應逸散、設備材料本身揮發產生及設備維護過程氣體揮發等

Product

Tricorn (臺灣)

  • VOC / AMC detector in manufacturing environment with sub-ppb level of capability.

Tricorn (臺灣)

  • VOC / AMC detector in manufacturing environment with sub-ppb level of capability.

氣體污染物防治(AMC/Particle Filtration)
藉由客製化學濾網去除進入廠房或設備端AMC問題。
藉由客製高效除塵濾網去除進入廠房或設備端粉塵問題。

Product

鈺祥企業股份有限公司
YESIANG Enterprise Co., Ltd.

鈺祥企業股份有限公司
YESIANG Enterprise Co., Ltd.

鈺祥企業股份有限公司
YESIANG Enterprise Co., Ltd.

鈺祥企業股份有限公司
YESIANG Enterprise Co., Ltd.

金屬薄膜沉積 (Metal Film Deposition)

以磁控濺射鍍膜方式於晶圓表面進行金屬鍍膜

Product

ASMPT

ASM Pacific Technology Limited (ASMPT) is a leading integrated solutions provider in Semiconductor and Electronics industries. We have three business segments – Back-end Equipment, Materials, and NEXX Products….

黃光微影 (Photo Lithography)

利用光學投影成像或直接光刻,將電路圖案複印至覆蓋晶圓表面的光阻材料,以達成圖案化。

Product

ORC (日本)

  • Stepper : Bump, Cu Post, RDL, TSV
  • lamp : UV lamp

ORC (日本)

  • Stepper : Bump, Cu Post, RDL, TSV
  • lamp : UV lamp

OAI(美國)

OAI is a Silicon Valley-based manufacturer of advanced precision equipment for the Solar, Photovoltaic, Semiconductor, MEMS, and Microfluidics Industries.

  • Mask Aligner
  • UV meter & Probes

電鍍 (Electro-Plating)

電鍍是一種電化學沉積過程,經由電解反應把一種金屬鍍於另一種金屬物體的表面。

Product

EBARA corporation (日本)

  • CMP: Metal, Dielectric CMP
  • Plating: Metal plating

ASMPT

ASM Pacific Technology Limited (ASMPT) is a leading integrated solutions provider in Semiconductor and Electronics industries. We have three business segments – Back-end Equipment, Materials, and NEXX Products….

EBARA corporation (日本)

  • CMP: Metal, Dielectric CMP
  • Plating: Metal plating

ASMPT

ASM Pacific Technology Limited (ASMPT) is a leading integrated solutions provider in Semiconductor and Electronics industries. We have three business segments – Back-end Equipment, Materials, and NEXX Products….

EBARA corporation (日本)

  • CMP: Metal, Dielectric CMP
  • Plating: Metal plating

ASMPT

ASM Pacific Technology Limited (ASMPT) is a leading integrated solutions provider in Semiconductor and Electronics industries. We have three business segments – Back-end Equipment, Materials, and NEXX Products….

EBARA corporation (日本)

  • CMP: Metal, Dielectric CMP
  • Plating: Metal plating 

晶圓載具貼合/剝離 (Wafer Bonder/De-bonder)

貼合:將兩片不同功能的晶圓,經對準及貼合技術,使晶片彼此之間完成貼合;在應用上則區分永久性貼合及暫時性貼合。
剝離:將裝置晶圓(Device Wafer)暫時地貼合到一個載具晶圓(Carrier Wafer)上,助其後製程的晶圓薄化處理,完成後製程序之後接續進行剝離程序。

晶片黏合 (Wafer Bonding)

將已切好的晶片放置在IC基板上,並將之黏著,要求的是黏著的速度、正確度。

Product

Boston Process Technologies, Inc. (美國)

無須助焊劑之植球與回焊及其檢測
Fluxless Solder Ball Bumping Total Solution

  • Symphony one (fluxless solder ball mount & reflow, Inspection & repair)
  • Symphony Fluxless Solder Ball Mount
  • Symphony Fluxless Reflow

無須助焊劑熱壓接合晶片黏合機及其檢測
Fluxless Thermal Compression Gang Bonder & AXI+

  • Concerto (fluxless thermal compression gang bonder)
  • AXI+ In-Tool Inspection & Repair (coming soon)

植球 & 回流焊 (Ball mount & reflow)

植球將錫球(Solder)植入 IC 腳墊(Pad) 。
回流焊:透過熱處理程序熔化焊料,使錫球完全接合於焊墊。

Product

Boston Process Technologies, Inc. (美國)

無須助焊劑之植球與回焊及其檢測
Fluxless Solder Ball Bumping Total Solution

  • Symphony one (fluxless solder ball mount & reflow, Inspection & repair)
  • Symphony Fluxless Solder Ball Mount
  • Symphony Fluxless Reflow

無須助焊劑熱壓接合晶片黏合機及其檢測
Fluxless Thermal Compression Gang Bonder & AXI+

  • Concerto (fluxless thermal compression gang bonder)
  • AXI+ In-Tool Inspection & Repair (coming soon)

製程檢測與監控 (Process Metrology and Monitoring)

晶圓表面缺陷檢測及量測:
利用光學取得晶圓表面影像,輔以電腦影像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵。

2維/3維 X光檢驗:
斷層掃描:提供掃描對象內部結構的三維圖像,包括缺陷或其他欲被檢驗區域的確切空間位置。

層析成像:介於2維X光檢查與3D斷層掃描技術中間體,目的為解決檢查平面組件的挑戰,提供可靠的檢驗缺陷並在平面對象中進行空間定位。

Product

倍利科技(台灣)

倍利科技持續致力發展智慧影像分析與深度學習技術,應用在智慧製造、智慧醫療、智慧交通安控等領域,並提供跨平台整合技術

  • Automated OM
  • AI ADC
  • 2D AOI (Automated Optical inspection)

倍利科技(台灣)

倍利科技持續致力發展智慧影像分析與深度學習技術,應用在智慧製造、智慧醫療、智慧交通安控等領域,並提供跨平台整合技術

  • Automated OM
  • AI ADC
  • 2D AOI (Automated Optical inspection)

倍利科技(台灣)

倍利科技持續致力發展智慧影像分析與深度學習技術,應用在智慧製造、智慧醫療、智慧交通安控等領域,並提供跨平台整合技術

  • Automated OM
  • AI ADC
  • 2D AOI (Automated Optical inspection)

康姆艾德科技股份有限公司 (德國)

Comet yxlon設計、製造和銷售高端X-ray和CT系統解決方案,為工業環境 (研發實驗室至生產環境) 提供集成。